Charakterisierung und Evaluierung von MEMS-Energy-Harvestern mit integrierten Mikromagneten für autarke Sensoranwendungen - Julian Lange (2025)
Diese Arbeit befasst sich mit den am Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie entwickelten MEMS-Energy-Harvestern mit integrierten Mikromagneten, ihrer Charakterisierung und Evaluierung. Sie gibt einen kurzen Einblick in die Simulation solcher Bauteile und beschreibt das Design eines energetisch autarken Sensorsystems auf Basis eines Energy-Harvesters.
Keywords: MEMS; Energy-Harvesting; Piezoelektrischer Effekt; Sensorsystem; Mikrocontroller; Mikromagneten