On the Multipole Resonance Probe : Current Status of Research and Development

Oberrath, Jens; Friedrichs, Michael; Gong, Junbo; Oberberg, Moritz; Pohle, Dennis; Schulz, Christian; Wang, Chunjie; Awakowicz, Peter; Brinkmann, Ralf Peter; Lapke, Martin; Mussenbrock, Thomas; Musch, Thomas; Rolfes, Ilona

doi:10.1109/TPS.2021.3113832

Verlagslink DOI:	10.1109/TPS.2021.3113832
Titel:	On the Multipole Resonance Probe : Current Status of Research and Development
Sprache:	Englisch
Autorenschaft:	Oberrath, Jens Friedrichs, Michael Gong, Junbo Oberberg, Moritz Pohle, Dennis Schulz, Christian Wang, Chunjie Awakowicz, Peter Brinkmann, Ralf Peter Lapke, Martin Mussenbrock, Thomas Musch, Thomas Rolfes, Ilona
Schlagwörter:	Active plasma resonance spectroscopy (APRS); Electrodes; Materials requirements planning; multipole resonance probe (MRP); plasma control; plasma diagnostic; Plasma measurements; plasma monitoring.; Plasmas; Probes; Resonant frequency; Temperature measurement
Erscheinungsdatum:	Nov-2021
Verlag:	IEEE
Zeitschrift oder Schriftenreihe:	IEEE transactions on plasma science
Zeitschriftenband:	49
Zeitschriftenausgabe:	11
Anfangsseite:	3293
Endseite:	3298
URI:	http://hdl.handle.net/20.500.12738/11800
ISSN:	1939-9375
Begutachtungsstatus:	Diese Version hat ein Peer-Review-Verfahren durchlaufen (Peer Review)
Einrichtung:	Department Informations- und Elektrotechnik Fakultät Technik und Informatik
Dokumenttyp:	Zeitschriftenbeitrag
Enthalten in den Sammlungen:	Publications without full text