Ansteuerkonzept für kaskadierte piezoelektrische Linearmotoren für den Sub-Nanometer-Bereich

Abstract

Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Ansteuerkonzepts für kaskadierte piezoelektrische Linearmotoren. Sie umfasst die Simulation eines Piezoaktors und - motors mit MATLAB/Simulink, die Entwicklung eines vierkanäligen Piezoverstärkers mit Serial Peripheral Interface, sowie die softwareseitige Ansteuerung des Motors mittels FPGA/Raspberry PI.

In this report the control concept for cascaded piezoelectric linear motors is described. It includes the simulation of a piezoelectric actuator and motor with MATLAB/Simulink, the development of a four channel piezoamplifier with Serial Peripheral Interface, as well as the software-based control of the piezodrive using FPGA / Raspberry PI.