Entwicklung eines Systems zur Ausrichtung von Korrekturoptiken für Röntgenlinsen

Abstract

Diese Arbeit umfasst die Entwicklung und Konstruktion eines hochpräzisen Justiersystems für Korrektur-optiken von Röntgenlinsen. Für die Ausrichtung werden Piezoaktoren verwendet, welche nach Ausrichtung stromlos geschaltet werden können. Hierfür wird der Effekt der remanenten Dehnung genutzt. Um den geringen Verfahrweg der Aktoren auszugleichen, wird eine Übersetzung mittels Festkörpergelenken entwickelt. Die Auslegung der Gelenke erfolgt mit Hilfe der Methode der Finiten-Elemente. Das Ergebnis ist eine Kinematik, welche Verfahrwege von über 100𝜇𝑚 in zwei Achsen realisieren kann.

This paper deals with the development and design of a high precision positioning system for corrective optics of compound refractive lenses. To enable the positioning of the optics, piezo actuators are used. After the actuators reach their position, they can be set powerless due to the effects of remanent strain. To compensate the small travel range of the actuators, kinematics with elastic hinges are developed. The design of the elastic hinges is calculated with the finite-element-method. Finally, a system with travel ranges above 100𝜇𝑚 in two directions was realized.