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Title: | Untersuchungen zur mechanischen Stabilität an porösen Silizium-Schichten | Language: | German | Authors: | Fitschen, Henning | Issue Date: | 11-Nov-2014 | Abstract: | Die vorliegende Arbeit untersucht die mechanische Stabilität von porösen Silizium Schichten unter Druckbelastung. Diese Fragestellung spielt eine Rolle im Hinblick auf das Hantieren mit porösem Silizium. Wie groß ist die Gefahr bei der Handhabung mit einer Pinzette oder durch Vakuumgreifer in der automatisierten Verarbeitung, das Material zu beschädigen? |
URI: | http://hdl.handle.net/20.500.12738/6763 | Institute: | Department Umwelttechnik | Type: | Thesis | Thesis type: | Bachelor Thesis | Advisor: | Dildey, Fritz | Referee: | Kajari-Schröder, Sarah |
| Appears in Collections: | Theses |
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