Charakterisierung und Evaluierung von MEMS-Energy-Harvestern mit integrierten Mikromagneten für autarke Sensoranwendungen

Abstract

Diese Arbeit befasst sich mit den am Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie entwickelten MEMS-Energy-Harvestern mit integrierten Mikromagneten, ihrer Charakterisierung und Evaluierung. Sie gibt einen kurzen Einblick in die Simulation solcher Bauteile und beschreibt das Design eines energetisch autarken Sensorsystems auf Basis eines Energy-Harvesters.

This report describes the characterization and evaluation of the MEMS-energyharvesting with integrated micro magnets developed by the Fraunhofer Institute for Silicon Technology. It gives a brief overview of the simulation of such components and describes the design process of an energetically self-sufficient system based on such an energy-harvesting device.